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衍射极限附近的光刻工艺(第2版)
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伍强、胡华勇、何伟明、岳力挽、张强、杨东旭、黄怡、李艳丽
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现代集成电路工厂中的先进光刻工艺研发方法与流程
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李艳丽、伍强
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